精密五金加工中微小孔的加工是被認(rèn)為是較困難的加工之一，目前較有效的微孔加工方法之一就是采用電火花機(jī)床來(lái)進(jìn)行加工。對(duì)于直徑小于0.1mm 的微孔，采用電火花加工能比激光加工獲得更高的精度。提高電火花加工速度和精密五金加工精度，除合理選用電火花加工過(guò)程中的電參數(shù)之外，還要注意加工中電蝕產(chǎn)物的順利排出、工具電極的制造，校直精度以及工具電極在電火花加工過(guò)程中的微量損耗。
精密五金加工中微孔的電火花加工工藝還有許多特殊要求。主要是能保持微小的進(jìn)給速度，一般需要在0.5微米/秒以下，而且電極的端面間隙一般在1微米以?xún)?nèi)，為此需設(shè)計(jì)制造專(zhuān)用的微孔電火花加工機(jī)床，用于實(shí)現(xiàn)微孔加工和反拷法制造微細(xì)工具電極。
工具電極的制造方法，較普通的是用車(chē)、磨等加工至所需尺寸，或用所需尺寸的線材校直作為電極，使用時(shí)裝到電火花機(jī)床上，由于多次裝夾，工具電極與電火花機(jī)床主軸的同軸度較差，工具電極的精度也就受到影響，從而也會(huì)影響精密五金加工精度。
采用反拷法制造工具電極，是將工具電極毛坯安裝在電火花機(jī)床的主軸上，用反拷塊銅鎢合金或反拷絲（鉬絲、銅鎢合金絲）加工電極至所需尺寸。由于反拷塊在加工過(guò)程會(huì)有損耗，很難從原電極毛坯直徑預(yù)測(cè)加工出的工具電極直徑。因此，需要反復(fù)測(cè)量，反復(fù)加工，才能達(dá)到所需的尺寸。同時(shí)，反拷塊工作面的直線度和垂直度誤差也會(huì)直接復(fù)制到工具電極上，影響到工具電極的制造精度。
在傳統(tǒng)的電火花加工的基礎(chǔ)上，輔以高溫處理工藝，進(jìn)行微孔的電火花高溫成型，精密五金加工可獲得比普通電火花加工更好的效果。可在奧氏體不銹鋼上加工直徑0.12mm深20mm的孔，表面粗糙度小于0.08-0.16微米 ，直徑誤差在0.01mm以?xún)?nèi)。微孔在電火花加工時(shí)因孔壁和工具電極之間的間隙很小，排屑問(wèn)題很突出，故出現(xiàn)了超聲振動(dòng)電火花加工和高壓沖液電火花加工方法。超聲振動(dòng)電火花加工方法宜用于孔徑0.4-0.4mm的孔加工，但深徑比不能太大，加工效率是上述普通電火花加工的4-5倍。