三坐標(biāo)測量機(jī)作為精密的高精度測量儀之一，如何提升三次元測量儀的測量精度是各三坐標(biāo)測量機(jī)生產(chǎn)廠家和用戶首要關(guān)注的問題，想要解決三坐標(biāo)的測量精度問題，那就要去減小三次元的測量誤差，根本的方法就是要知道哪些因素會讓三坐標(biāo)的測量產(chǎn)生誤差，產(chǎn)生這些誤差的原因是什么，根據(jù)三次元的特性來有針對性的去提升三坐標(biāo)的測量精度。除三坐標(biāo)測量機(jī)本身因故障造成測量精度誤差以外，還有很多可能影響三坐標(biāo)測量機(jī)精度的因素，造成測量誤差。操作人員要了解這些因素，盡量減少三坐標(biāo)測量機(jī)在測量中的誤差，避免影響零件測量的準(zhǔn)確。
1、機(jī)房溫度的穩(wěn)定
正如前所述，溫度是影響三次元測量機(jī)精度的因素。每年進(jìn)行一次的精度校正，并不能保證在溫度變化的情況下測量機(jī)都能測量準(zhǔn)確。尤其是當(dāng)季節(jié)變化時(shí)，機(jī)房的溫度已與校驗(yàn)時(shí)不同。有必要在機(jī)房溫度穩(wěn)定的情況下，對因光柵溫度和量塊溫度不同而造成的誤差用溫度修正系數(shù)來進(jìn)行修正。這種修正可以根據(jù)季節(jié)或環(huán)境溫度情況來進(jìn)行。
2、補(bǔ)償文件的正確性
補(bǔ)償文件是使用雙頻激光干涉儀檢測三次元測量機(jī)位置度、直線度和角度誤差后生成的補(bǔ)償文件。測量軟件是根據(jù)它來進(jìn)行誤差補(bǔ)償?shù)摹Ｍ行┎僮鲉T在安裝測量機(jī)軟件時(shí)忘記安裝補(bǔ)償文件或?qū)浞菸募G失而造成三坐標(biāo)測量機(jī)精度差和重新校驗(yàn)機(jī)器精度。所以操作員要保管好備份文件并且知道如何安裝補(bǔ)償文件。
3、測頭校正的正確性,準(zhǔn)確性 測頭校正的目的是要校正出測桿（測尖）的紅寶石球的直徑，進(jìn)行測量點(diǎn)測頭修正，并得出不同測頭位置的位置關(guān)系。在測頭校正時(shí)產(chǎn)生的誤差將全部加入到測量中去。所以在這個(gè)環(huán)節(jié)中要保證正確和準(zhǔn)確。要注意以下幾點(diǎn)：
1) 保持標(biāo)準(zhǔn)球和測桿的清潔。2) 保證測座、測頭、測桿、標(biāo)準(zhǔn)球固定牢靠。3) 輸入正確的測桿長度和標(biāo)準(zhǔn)球直徑。4) 根據(jù)形狀誤差和校正出的寶石球直徑及重復(fù)性判斷校正的準(zhǔn)確性（加長桿長度不同校正后的寶石球直徑會不同）。5) 要使用不同測頭位置時(shí)，在校正完所有測頭位置后，要通過測量標(biāo)準(zhǔn)球球心點(diǎn)坐標(biāo)的方法檢查校驗(yàn)精度。 測頭校驗(yàn)后保存的測頭文件，在測頭、測桿沒有動(dòng)的前提下可以調(diào)出使用。但測量精度比較高的情況下，建議重新校正測頭。
4、三坐標(biāo)測量機(jī)的工作狀態(tài) 三次元測量機(jī)在長時(shí)間使用后，尤其是在環(huán)境比較差，溫度波動(dòng)情況比較大的情況下，機(jī)械部分會有所變化，如：垂直度變差，橫粱長度長的測量機(jī)附助腿端的測量精度差等問題。此時(shí)就要進(jìn)行三次元大修和精度校驗(yàn)。
5、被測零件的形狀誤差及基準(zhǔn)的正確選擇 因?yàn)槿鴺?biāo)測量的原理是先采點(diǎn)，然后軟件對所采點(diǎn)進(jìn)行擬和計(jì)算誤差。所以三坐標(biāo)測量機(jī)測量時(shí)對零件的形狀誤差有一定的要求。當(dāng)被測零件有明顯的毛刺或沙眼時(shí)測量的重復(fù)性就明顯變差，以至于操作員給不出準(zhǔn)確的測量結(jié)果。在這種情況下一方面要求對被測零件的形狀誤差進(jìn)行控制，另外也可以適當(dāng)增大測桿寶石球的直徑，但測量誤差顯然要大一些。
6、測量時(shí)要采取正確的測量方法以及正確的選擇測量基準(zhǔn)是測量的重要環(huán)節(jié)之一。
1) 測圓和測線時(shí)要選擇投影平面或工作平面，建立零件坐標(biāo)系時(shí)正確選擇一基準(zhǔn)和第二基準(zhǔn)，計(jì)算同軸度時(shí)如何選擇基準(zhǔn)軸線等等。這需要掌握三坐標(biāo)測量機(jī)的測量原理和根據(jù)實(shí)際情況來采取正確的方法步驟。2) 要使用盡可能短的三坐標(biāo)測量儀的測針，根據(jù)使用者的的測量的經(jīng)驗(yàn)，測針越短，就可以是測量的結(jié)果更加的準(zhǔn)確。但是因?yàn)槭褂瞄L針可以是測量變得更加的方便，于是有很多的操作者會忽略這方面問題，但是對于比較精密的測量，一定要使用比較短的測針進(jìn)行測量。3) 盡量的減少接頭與長桿，也會是測量的精度得到提高。這一點(diǎn)也是長期操作三坐標(biāo)測量儀的操作者的經(jīng)驗(yàn)積累所得。4) 在使用三坐標(biāo)測量儀進(jìn)行測量的時(shí)候，要盡量的做到側(cè)頭的直徑范圍盡量的大。因?yàn)槭褂萌鴺?biāo)測量儀進(jìn)行測量，測頭是重要的一個(gè)測量配件，會直接的對測量的結(jié)果造成影響。5) 要選擇正確的測量的方法，對于不同的測量物件，使用的測量的方法也是不同的，而測量方法的正確與否，就會直接影響到使用三坐標(biāo)測量機(jī)的測量的精度。所以，在使用三坐標(biāo)測量機(jī)進(jìn)行操作的時(shí)候，一定要使用適合的測量的方法，還有就是要按照正確的操作程序做好測量，以避免因誤差造成的損失。