sf6氣體回收裝置的真空泵。
（1）真空度不高的原因和消除方法
sf6氣體回收裝置真空泵出口檢查，全壓強不高，旋去加油塞無明顯漏氣聲，可能存放不當，有水汽進入泵內(nèi)，應更換新油。
無漏氣聲，換油無效，應檢查閥座上小油孔是否堵塞，小孔位置在泵的短閥片處月形槽內(nèi)。
接入系統(tǒng)后真空度不高，可能是系統(tǒng)接頭，管道閥門，各類設備有漏氣，應逐一捉漏檢查，排除故障。
sf6氣體回收裝置泵未經(jīng)拆卸清洗，突然出現(xiàn)撞擊聲，真空度下降，可檢查旋片彈簧是否折斷，或有無異物進入泵內(nèi)。
泵使用日久，真空度漸有下降，可能是潤滑油混入可凝性氣體和潤滑油裂介變質(zhì)，以及零件老化所致，可用換油、換零件，逐一試驗。
泵拆裝后，有大漏氣聲，可能是橡膠件裝配不當，損壞，應調(diào)整或更換。
sf6氣體回收裝置排氣閥片老化變形、損壞或螺釘拉脫，會出現(xiàn)異樣氣聲和油面的顯著泛動，也會影響真空度，應調(diào)整重裝。
以上措施均無效，又無漏氣聲，可能使用日久，零部件磨損或受腐蝕所致，也可能是轉(zhuǎn)子變形，精度降低，甚至轉(zhuǎn)子、旋片等零件損壞，應拆開檢查，修整或換上新零件。