日本ulvac dis-90渦旋干式真空泵一、特性
•雙繞式渦旋泵，含1根軌道螺旋和2根固定螺旋。
•可在大氣壓下實(shí)現(xiàn)操作運(yùn)行。
•可實(shí)現(xiàn)高極限真空。
•低振動(dòng)低噪音。
•維護(hù)周期可通過計(jì)時(shí)表控制。
日本ulvac dis-90渦旋干式真空泵二、應(yīng)用
•分析設(shè)備
•氣體回收系統(tǒng)
•涂料設(shè)備•tmp前級(jí)泵
•氦滲漏探測(cè)器
•半導(dǎo)體制造工藝
日本ulvac dis-90渦旋干式真空泵三、規(guī)格參數(shù)
單位
50hz
60hz
實(shí)際抽速
l/min
90
108
極限壓力
pa
5.0
馬達(dá)
單相,100/115/200/230v,
150w,4p,電容啟動(dòng)運(yùn)行
滿載電流
a
2.6/1.3/1.6
(100/200/230v)
2.1/2.2/1.1/1.1
(100/115/200/230v)
重量
kg
14.0
進(jìn)出氣管道直徑
進(jìn)氣管kf-25 出氣管kf-16
環(huán)境溫度
°c
5–40
水蒸氣處理
g/天
≤5(a.f.開啟)
尺寸
mm
214(w)×308(l)×225(h)
四、外形圖
五、泵數(shù)曲線
六、對(duì)應(yīng)電壓與認(rèn)證
電壓
現(xiàn)行電壓
ce認(rèn)證
csa認(rèn)證
單相,
100v/115v(60hz)/200-230v
標(biāo)準(zhǔn)
關(guān)鍵詞：干式真空泵 真空泵