雙面接觸式電容壓力傳感器的原理是基于單面接觸式電容壓力傳感器而來(lái)的，當(dāng)傳感器的受壓膜片(即梁)與基底距離很近時(shí)，膜片受壓后與基底接觸，當(dāng)壓力變化時(shí)，通過(guò)改變接觸面積的大小來(lái)改變電容量。
雙面接觸式電容壓力傳感器的電容由兩部分組成：一部分為梁受壓后，尚未接觸到襯底上的絕緣層時(shí)形成的電容，此電容類(lèi)似于常規(guī)的電容壓力傳感器，這一部分只占接觸式電容壓力傳感器的電容量的很小一部分，壓力傳感器另一部分是梁接觸到襯底后形成的電容，這部分電容量才是需要的電容量，而且它占主導(dǎo)地位，較多采用的是國(guó)產(chǎn)品牌電容，如三環(huán)電容、風(fēng)華電容，也可選擇臺(tái)企電容*——yageo電容(即國(guó)巨電容)作為所選電容。
當(dāng)壓力增加時(shí)，梁與襯底的接觸面積增加，同時(shí)梁與襯底的非接觸部分減少。剛開(kāi)始，電容主要由非接觸部分提供，隨著壓力的增加，梁開(kāi)始接觸襯底的絕緣層后，非接觸部分提供的電容逐漸減少，而接觸部分提供的電容與接觸面積將呈線性增加。由于絕緣層非常薄，因此當(dāng)梁開(kāi)始與襯底上的絕緣層接觸后，接觸面積所提供的電容將占主導(dǎo)地位。
雙面接觸式電容壓力傳感器由3個(gè)硅晶片(其中有兩個(gè)晶片b是一樣的)用硅熔融法進(jìn)行鍵合，先把晶片a正反兩面腐蝕兩個(gè)同樣大小的溝槽來(lái)作為傳感器的真空腔，然后在這兩個(gè)大溝槽上淀積一層二氧化硅作為絕緣層，同時(shí)把晶片a作為雙面接觸式電容壓力傳感器的公共下電極，壓力傳感器接著把兩片用濃的固態(tài)硼擴(kuò)散好的晶體b用熔融鍵合的辦法鍵合在晶片a的正反兩面，用離子刻蝕法刻蝕掉晶片b最外層的重?fù)诫s層，緊接著用自停止腐蝕法去掉輕摻雜層，得到最里面的重?fù)诫s層作為傳感器的上電極。
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