晶圓接觸角測(cè)量儀采用*的ccd數(shù)字?jǐn)z像機(jī)，配倍高分辨率變焦式顯微鏡和高亮度led背景光源系統(tǒng)，搭配三維樣品臺(tái)，可進(jìn)行工作臺(tái)上下、前后等方向移動(dòng)。實(shí)現(xiàn)微量進(jìn)樣及上下、左右精密移動(dòng)。同時(shí)還設(shè)計(jì)了伸縮桿結(jié)構(gòu)工作臺(tái)，能適應(yīng)在不同用戶材料厚度加大的場(chǎng)合。儀器框架可以根據(jù)式樣的大小適量調(diào)節(jié)，擴(kuò)大了儀器的使用范圍。軟件搭配修正功能，測(cè)試多次后的結(jié)果可以同時(shí)保存在同一報(bào)告下，能讓用戶更好的對(duì)材料數(shù)據(jù)進(jìn)行管控。該儀器設(shè)計(jì)美觀大方、操作簡單、符合用戶所需。
晶圓表面分析檢測(cè)測(cè)量系統(tǒng)、晶圓表面張力分析系統(tǒng)適用于半導(dǎo)體晶圓（wafer）工藝的質(zhì)量控制。提供晶圓（wafers）表面的快速并準(zhǔn)確的接觸角/表面能分析，從而評(píng)估粘性，潔凈度及鍍膜。采用輕量化的設(shè)計(jì)、組裝方便和新的基于windows標(biāo)準(zhǔn)的用戶友好型軟件，以創(chuàng)建一個(gè)即容又容易使用的接觸角測(cè)量儀系統(tǒng)。注射滴液機(jī)制可以抬起便于裝載，消除了對(duì)晶圓(wafers)可能產(chǎn)生的損壞。用于晶圓表面分析，同時(shí)也可用于其它需要測(cè)量較大體積樣件的分析應(yīng)用。樣件大可允許300 x 300 x 19mm。
接觸角測(cè)量儀主機(jī)及測(cè)試視頻的操作視頻及圖片：
（1）主機(jī)使用高強(qiáng)度航空鋁合金結(jié)構(gòu)搭配模塊化設(shè)計(jì)理念，自主研發(fā)的集成芯片電路控制，保證儀器以佳狀態(tài)運(yùn)行；
（2）成像部分使用高性能日本*工業(yè)機(jī)芯及無失真遠(yuǎn)心鏡頭確保成像效果。
（3）工業(yè)級(jí)可調(diào)led單波長冷光源系統(tǒng)，成像更清晰
（4）自動(dòng)位移平臺(tái)，實(shí)現(xiàn)y、z自動(dòng)定位測(cè)量，定點(diǎn)地位更，測(cè)量效率更高
規(guī)格：
主機(jī)外形尺寸：1200mm（長）*600mm(寬)* 670mm(高) 主機(jī)凈重：55kg
工作臺(tái)面尺寸：420mm*420mm
工作臺(tái)移動(dòng)：自動(dòng)，行程160mm，精度0.01mm；上下移動(dòng) 手動(dòng)，行程20mm，精度0.01mm
進(jìn)樣器移動(dòng)：自動(dòng)上下60mm（自動(dòng)）; 左右30mm
工業(yè)鏡頭：前后移動(dòng)30mm（微調(diào)3mm），0.7x *-4.5x連續(xù)變倍變焦顯微鏡
ccd：sony*高速工業(yè)級(jí)芯片； 鏡頭角度可調(diào)試：仰視、平視、俯視多視角觀察
光源：led可調(diào)節(jié)藍(lán)色基調(diào)工業(yè)級(jí)冷光源；使用壽命達(dá)貳萬伍仟小時(shí)以上
電源及功率：220v / 60hz
晶圓產(chǎn)品處理前word報(bào)告及測(cè)試圖片：我們對(duì)樣品進(jìn)行十個(gè)點(diǎn)的測(cè)試，平均角度72.04度。
檢測(cè)單位
sindin
試驗(yàn)日期
2018-10-09
操作人員
魏工
打印時(shí)間
14:36:02
固體試樣
晶圓
液體試樣
水
溫度(℃)
25
濕度(％)
60
產(chǎn)品名稱
物料號(hào)
12寸晶圓
備注
供應(yīng)商名稱
視涯
試驗(yàn)要求
未清洗前晶圓測(cè)試
大角度
82.38
小角度
67.48
平均角度
72.04
晶圓產(chǎn)品處理后word報(bào)告及測(cè)試圖片：我們對(duì)樣品進(jìn)行十個(gè)點(diǎn)的測(cè)試后，再用等離子清洗機(jī)處理，平均角度16.58度。
檢測(cè)單位
sindin
試驗(yàn)日期
2018-10-09
操作人員
魏工
打印時(shí)間
15:36:20
固體試樣
晶圓
液體試樣
水
溫度(℃)
25
濕度(％)
60
產(chǎn)品名稱
物料號(hào)
12寸晶圓
備注
供應(yīng)商名稱
視涯
試驗(yàn)要求
未清洗前晶圓測(cè)試
大角度
25.65
小角度
9.55
平均角度
16.58
標(biāo)樣校檢報(bào)告：
儀器檢驗(yàn)信息
儀器名稱：
接觸角測(cè)量儀
檢驗(yàn)時(shí)間：
2018.10.08
儀器型號(hào)：
sdc-500
溫度：
27
儀器編號(hào):
sdca1810001
濕度：
68%
測(cè)試方法：
橢圓法及圓環(huán)法基于大于等于20°使用橢圓法檢測(cè)小于20°用圓環(huán)法檢測(cè)
校正信息
精度：
±1°
校準(zhǔn)度數(shù)：
3°60°120°115°
校驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)：
標(biāo)樣----含德國tuv認(rèn)證的檢測(cè)報(bào)告
圓弧3°
圓弧60°
序號(hào)
標(biāo)樣數(shù)據(jù)（°）
檢測(cè)數(shù)據(jù)（°）
誤差（°）
序號(hào)
標(biāo)樣數(shù)據(jù)（°）
檢測(cè)數(shù)據(jù)（°）
誤差（°）
1
3
2.876
0.124
1
60
59.920
0.080
2
3
3.101
0.101
2
60
60.000
0.000
3
3
3.121
0.121
3
60
60.000
0.000
4
3
3.105
0.105
4
60
59.928
0.072
5
3
2.839
0.161
5
60
60.652
0.652
圓弧120°
橢圓115°
序號(hào)
標(biāo)樣數(shù)據(jù)（°）
檢測(cè)數(shù)據(jù)（°）
誤差（°）
序號(hào)
標(biāo)樣數(shù)據(jù)（°）
檢測(cè)數(shù)據(jù)（°）
誤差（°）
1
120
120.100
0.100
1
115
115.146
0.146
2
120
120.082
0.082
2
115
114.910
0.090
3
120
120.000
0.000
3
115
115.120
0.120
4
120
120.170
0.170
4
115
115.027
0.027
5
120
119.875
0.125
5
115
115.159
0.159
測(cè)試平臺(tái)移動(dòng)確認(rèn)：
合格
滴液精度：0.1μl
合格
測(cè)量范圍：0-180°
合格
測(cè)量軟件：
合格
測(cè)量精度：±0.1°
合格
測(cè)量重復(fù)性精度：±1°
合格
mapping功能
合格
外觀部件：
合格
輸出測(cè)量報(bào)告功能
合格
檢測(cè)數(shù)據(jù)：
合格
綜合判定：合格
校檢單位：東莞市晟鼎精密儀器有限公司
效驗(yàn)人員：趙衛(wèi)主管：張新飛
晶圓系列接觸角測(cè)量儀對(duì)于工藝的表面涂覆評(píng)估；
表面污染物檢測(cè)；
表面親疏性的研究；
表面潤濕性能的判斷；
涂覆均勻性檢測(cè)；
涂覆質(zhì)量評(píng)估；
表面清潔度檢測(cè)；
研究粘附性、潤濕特性、粘接質(zhì)量、表面處理；
半導(dǎo)體晶片、硬盤、平板顯示器和生物材料等表面涂層的吸收研究。