振動(dòng)的測(cè)量不同于噪音測(cè)量所示的規(guī)格，振動(dòng)測(cè)量方法及振動(dòng)計(jì)有很多種。振動(dòng)傳感器包括位移計(jì)、速度針、加速度計(jì)等，其中與速度成比例的電動(dòng)型以及與加速度成比例的壓電型振動(dòng)傳感器較常使用。振動(dòng)測(cè)量時(shí)，必須注意傳感器的指向性與被測(cè)物的振動(dòng)方向。安裝振動(dòng)傳感器時(shí)，必須注意使振動(dòng)不影響到自身。下圖表示步進(jìn)電機(jī)的振動(dòng)測(cè)量功能框圖和測(cè)量舉例。
上圖的測(cè)量舉例，縱軸取振動(dòng)加速度，橫軸取作驅(qū)動(dòng)頻率，連續(xù)自動(dòng)掃頻測(cè)量。相對(duì)應(yīng)的，下圖為2相hb型步進(jìn)電機(jī)的三維振動(dòng)圖形。
亦即，步進(jìn)電機(jī)的驅(qū)動(dòng)脈沖波連續(xù)自動(dòng)掃頻，每次記錄頻率分析的結(jié)果用三維表示。y(傾斜）軸表示步進(jìn)電機(jī)脈沖頻率，x(橫）軸表示振動(dòng)頻率，z(縱）軸表示振動(dòng)加速度。由此可以看出，何處的驅(qū)動(dòng)脈沖，頻率多少時(shí)，會(huì)產(chǎn)生的振動(dòng)大小，一目了然，易于分析振動(dòng)結(jié)果。
根上振動(dòng)分析圖，從振動(dòng)大的地方看到，驅(qū)動(dòng)脈沖的基波頻率造成振動(dòng)成分最大，且出現(xiàn)的振動(dòng)點(diǎn)為其偶次諧波，180pps附近的振動(dòng)為振動(dòng)加速度與轉(zhuǎn)子及其負(fù)載系統(tǒng)的自然頻率的共振。
hb型步進(jìn)電機(jī)轉(zhuǎn)子及定子有多齒數(shù)的關(guān)系，激磁磁通含有很多的空間高次諧波，同時(shí)激磁電流也含有高次諧波，激磁磁通與電流之積所產(chǎn)生的電磁轉(zhuǎn)矩也會(huì)包含轉(zhuǎn)矩波動(dòng)，引起徑向振動(dòng)。上振動(dòng)分析圖所示步進(jìn)電機(jī)的振動(dòng)主要是前者，而噪音或定子的徑向振動(dòng)的原因主要是后者。