壓力變送器按芯體可分為擴(kuò)散硅壓力變送器、陶瓷壓力變送器、電容式壓力變送器和單晶硅壓力變送器。那大家知道平時(shí)測(cè)壓力用到多的壓力變送器是什么類型的嗎？
那就是擴(kuò)散硅壓力變送器。擴(kuò)散硅壓力變送器廣泛應(yīng)用于石油、化工、鋼鐵、電力、輕工、環(huán)保等工業(yè)領(lǐng)域，實(shí)現(xiàn)對(duì)各種流體壓力的表壓、負(fù)壓或絕壓測(cè)量和控制，并且能夠適用于各種惡劣危險(xiǎn)環(huán)境及有腐蝕性介質(zhì)。那么擴(kuò)散硅壓力變送器是怎樣誕生的呢？
20世紀(jì)90年代中期，美國(guó)nova公司應(yīng)用硅品石和硅品片益合兩項(xiàng)科技生產(chǎn)了新型擴(kuò)散硅壓力傳感器并開(kāi)發(fā)出具有精度高、重復(fù)性小、抗腐蝕的擴(kuò)散硅壓力變送器過(guò)程壓力通過(guò)隔離膜片、密封硅油傳輸?shù)綌U(kuò)散硅膜片上，同時(shí)參考端的壓力（大氣壓）作用于膜片的另一端。這樣膜片兩邊的壓差產(chǎn)生一個(gè)壓力場(chǎng)，使膜片的一部分壓縮。另一部分拉伸，在壓縮區(qū)和拉伸區(qū)分別有兩個(gè)應(yīng)變電阻片，以感受壓力引起的阻值的變化，從而將壓力信號(hào)轉(zhuǎn)換為電信號(hào)。
擴(kuò)散硅壓力變送器是利用壓阻效應(yīng)原理，采用集成工藝技術(shù)經(jīng)過(guò)摻雜、擴(kuò)散，沿單晶硅片上的特點(diǎn)晶向，制成應(yīng)變電阻，組成惠斯凳電橋，利用硅材料的彈性力學(xué)特性，在同一切硅材料上進(jìn)行各向異性微加工，就制成了一個(gè)集力敏與力電轉(zhuǎn)換檢驗(yàn)于一體的擴(kuò)散硅傳感器。
應(yīng)用擴(kuò)散硅壓力變送器時(shí)的注意事項(xiàng)
1.溫度補(bǔ)償，擴(kuò)散硅式壓力傳感器是半導(dǎo)體，半導(dǎo)體具有很強(qiáng)的溫度特性，沒(méi)有溫度補(bǔ)償，測(cè)量誤差可能會(huì)比較大。
2.擴(kuò)散硅式壓力傳感器傳感膜片只有幾十絲米厚，千萬(wàn)不能觸碰。
3.供電電壓要穩(wěn)定，傳感器里面實(shí)際就是一個(gè)電橋，供電電壓波動(dòng)會(huì)引起橋路輸出變化，影響測(cè)量精度。
4.要在額定電壓內(nèi)應(yīng)用，過(guò)壓會(huì)導(dǎo)致傳感器損壞。
5.輸出端不要短路。