每款儀器都不是的，icp-ms也有它的缺點：對有些輕質(zhì)量元素分析性能并不很理想，分析溶液中含鹽量的耐受力較差（通常小于0.2%：icp-aes:2%-10%tds），儀器的性能與操作參數(shù)和狀態(tài)相關性*，所以在某種程度上，分析結果的質(zhì)量取決于操作人員的水平，與icp-aes相比，儀器沒那么皮實，容易出故障，維護保養(yǎng)要求高。所以，要特別根據(jù)儀器的禁忌和某些缺陷，針對性的進行維護保養(yǎng)。
在使用icp-ms時應注意的事項：
一．環(huán)境溫度和濕度有一定要求：
等離子體光譜與其它大型精密儀器一樣，需要在一定的環(huán)境下運行，失去這些條件，不僅儀器的使用效果不好，而且改變儀器的檢測性能，甚至造成損壞，縮短壽命。
根據(jù)光學儀器的特點，對環(huán)境溫度和濕度有一定要求。如果溫度變化太大，光學元件受溫度變化的影響就會產(chǎn)生譜線漂移，造成測定數(shù)據(jù)不穩(wěn)定，一般室溫要求維持在20～25攝氏度間的一個固定溫度，溫度變化應小于±1攝氏度。
一般室內(nèi)濕度應小于70%，控制在45～60%之間，應有空氣凈化裝置。儀器受潮及室溫變化過大，會定位困難、經(jīng)常發(fā)生故障。
二．儀器的防塵很重要：
一般國內(nèi)實驗室都不具備防塵、過濾塵埃的設施，當實驗室內(nèi)需要采用排風機，排除儀器的熱量及工作時產(chǎn)生的有毒氣體時，實驗室與外部就形成壓力差，實驗室產(chǎn)生負壓，室外含有大量灰塵的空氣從門窗的縫隙中流入室內(nèi)，大量積聚在儀器的各個部位上，容易造成高壓元件或接頭打火，電路板及接線、插座等短路、漏電等各種各樣的故障，因此，需要經(jīng)常進行除塵。
三．對氣體控制系統(tǒng)的維護保養(yǎng)：
icp的氣體控制系統(tǒng)是否穩(wěn)定正常地運行，直接影響到儀器測定數(shù)據(jù)的好壞，如果氣路中有水珠、機械雜物雜屑等都會造成氣流不穩(wěn)定，因此，對氣體控制系統(tǒng)要經(jīng)常進行檢查和維護。首先要做氣體試驗，打開氣體控制系統(tǒng)的電源開關，使電磁閥處于工作狀態(tài)，然后開啟氣瓶及減壓閥，使氣體壓力指示在額定值上，然后關閉氣瓶，觀察減壓閥上的壓力表指針，如在幾個小時內(nèi)沒有下降或下降很少，則氣路中有漏氣現(xiàn)象，需要檢查和排除。
氬氣中常夾雜有水分和其它雜質(zhì)，管道和接頭中也會有一些機械碎屑脫落，造成氣路不暢通。因此，需要定期進行清理，拔下某些區(qū)段管道，然后打開氣瓶，短促地放一段時間的氣體，將管道中的水珠，塵粒等吹出。
四．霧化器的定期清理：
霧化器是進樣系統(tǒng)中精密，關鍵的部份，需要很好的維護和使用。要定期的清理，特別是測定高鹽溶液之后，霧化器的頂部，炬管噴嘴會積有鹽份，造成氣溶膠通道不暢，常常反映出來的是測定強度下降，儀器反射功率升高等。炬管上積塵或積炭都會影響點燃等離子體焰炬和保持穩(wěn)定，也影響反射功率，因此，要定期用酸洗，水洗，后，用無水乙醇洗并吹干，經(jīng)常保持進樣系統(tǒng)及炬管的清潔。
五．使用儀器中盡量減少開停機的次數(shù)：
開機測定前，必須做好安排，事先標好各項準備工作，切忌在同一段時間里開開停停，儀器頻繁開啟容易造成損壞，這是因為儀器在每次開啟的時候，瞬時電流大大高于運行正常時的電流，瞬時的脈沖沖擊，容易造成功率管燈絲斷絲，碰極短路及過早老化等，因此使用中需要倍加注意，一旦開機就一氣呵成，把要做的事做完，不要中途關停機。
六．儀器需要定期的維護：
1.每次點火前檢查蠕動泵泵管, 看是否有損傷和過度磨損。
2.定期檢查錐, 看是否需要清洗。
3.檢查霧化器, 看是否被堵。
4.定期檢查炬管, 主要是中心管, 以確保無損壞。
5.每半年檢查更換一次機械泵泵油。
6.定期清洗兩個空氣過濾網(wǎng)。
7.定期檢查排風風量, 以確保風力充足。
8.定期檢查地線, 以確保小于4歐姆。
9.真空規(guī)如打不開，或顯示1*10-8時需要清潔處理真空規(guī)內(nèi)部。
10.儀器*不用停機時，保證環(huán)境灰塵盡量少，溫度不能太高，濕度不能太大