xd602系列壓電納米定位臺(tái)是xyz三維運(yùn)動(dòng)壓電平臺(tái)，它的行程范圍為200μm/軸，四個(gè)角位分別留有安裝固定孔位，易于機(jī)構(gòu)安裝。負(fù)載安裝平臺(tái)留有10個(gè)m3固定位，適于不同結(jié)構(gòu)負(fù)載的安裝。它的外觀較薄，非常易于系統(tǒng)集成。
特點(diǎn)
•xyz三維運(yùn)動(dòng) •行程200μm/軸 •超薄體積 •可選閉環(huán)版本獲取更高精度
開環(huán)與閉環(huán)版本可選
xd602壓電位移臺(tái)可以選擇開環(huán)或閉環(huán)版本，閉環(huán)版本內(nèi)部配有高分辨率及快速響應(yīng)的應(yīng)變傳感器（sgs），配備在驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的合適位置，它可向控制器反饋高帶寬、高精度的電壓信號(hào)。傳感器使用全橋配置以消除熱漂移，使得該納米定位臺(tái)實(shí)現(xiàn)較高的線性度與重復(fù)度。
配套控制器
xd602系列壓電位移臺(tái)，可搭配芯明天e70系列壓電控制器使用，模擬與數(shù)字控制，體積小巧，高性能搭配。
技術(shù)參數(shù)：
型號(hào)：xd602
運(yùn)動(dòng)方向：x/y/z
標(biāo)稱行程范圍（0 ~120 v）：160µm
行程范圍（0~150v）：200µm
傳感器類型：sgs
開環(huán)分辨率：8nm
閉環(huán)線性度：0.2%f.s.
閉環(huán)重復(fù)定位精度：0.1%f.s.
空載諧振頻率：270hz
加載100g負(fù)載諧振頻率：110hz
50%行程空載使用頻率：20hz
臺(tái)體材料：鋁
工作溫度范圍：0~50 ℃
承載能力：300g