產品名稱：電容電壓特性測試儀
產品型號：had-cv-5000
在集成電路特別是mos電路的生產和開發(fā)研制中，mos電容的c-v測試是極為重要的工藝過程監(jiān)控測試手段，通過c-v測試達到優(yōu)化生產過程中的工藝參數(shù)，提高ic成品率。
mos（金屬－氧化物－半導體）結構的電容是外加偏置電壓的函數(shù)，mos電容隨外加電壓變化的曲線稱之為c-v曲線（簡稱c－v特性）。c-v曲線與半導體的導電類型及其摻雜濃度、sio2-si系統(tǒng)中的電荷密度有密切的關系。 利用實際測量到的mos結構的c-v曲線與理想的mos結構的c-v特性曲線比較，可求得氧化硅層厚度、襯底摻雜濃度、氧化層中可動電荷面密度、和固定電荷面密度等參數(shù)。
另外作為組成半導體器件的基本結構的pn結具有電容效應（勢壘電容）。加正向偏壓時，pn結勢壘區(qū)變窄，勢壘電容變大；加反向偏壓時，pn結勢壘區(qū)變寬，勢壘電容變小。
had-cv-5000型電容電壓特性測試儀是測試頻率為1mhz的智能化數(shù)字的電容測試儀器，既可用于測試半導體器件pn結的勢壘電容在不同偏壓下的電容量，也可進行mos電容的外加電壓掃描測試，還可測試其它mis電容。
該電容電壓特性測試系統(tǒng)由主機和上位機（pc）組成，并在軟件控制下完成校準及測試等功能，同時顯示c-v電容電壓特性曲線。主機面板上的發(fā)光二極管指示儀器的工作狀態(tài)，用數(shù)碼管組成的顯示板，將被測元件的數(shù)值，小數(shù)點清晰地顯示出來。儀器有較高的分辨率，電容量是五位讀數(shù)，可分辮到0.001pf，偏置電壓分辨力為0.1v，漏電流分辨力為0.01ua。
儀器配有had-cv-5000型測量座，接插元件靈活，方便可靠。
had-cv-5000型電容電壓特性測試儀軟件測試系統(tǒng)是一個運行在計算機上擁有友好測試界面的用戶程序，程序操作直觀易用。測試程序在計算機與cv-5000型電容電壓特性測試測試儀連接的狀態(tài)下，通過計算機的usb口實現(xiàn)通訊。
測試程序控制電容電壓特性測試測試儀進行測量并采集測試數(shù)據(jù)，把采集到的數(shù)據(jù)在計算機中加以分析，然后把測試數(shù)據(jù)以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在計算機中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到excel中，讓用戶對數(shù)據(jù)進行各種數(shù)據(jù)分析。