zygo 3d 白光干涉輪廓儀，能夠以?xún)?yōu)于納米級(jí)的分辨率，非接觸測(cè)量樣品表面形貌。白光輪廓儀廣泛應(yīng)用于光學(xué)，半導(dǎo)體，材料，精密機(jī)械等等領(lǐng)域，用于表面形貌紋理，微觀結(jié)構(gòu)分析。
zygo有三個(gè)型號(hào)標(biāo)準(zhǔn)白光干涉輪廓儀，zegage，newview，nexview，它們?cè)O(shè)計(jì)理念各有不同，配合各類(lèi)附件，能良好滿(mǎn)足各種場(chǎng)景，各類(lèi)環(huán)境下的不同應(yīng)用需求。
zygo 白光輪廓儀的共有特點(diǎn)和優(yōu)勢(shì)：
·zygosurescan™大幅減小了環(huán)境振動(dòng)的影響；還可以降低高精度量測(cè)時(shí)的噪聲，提高超光滑表面的測(cè)試精度。
·zygosmartsetup™，自動(dòng)對(duì)焦樣品表面，自動(dòng)智能配置測(cè)試參數(shù)，使原來(lái)麻煩的“找條紋”，“選擇測(cè)試參數(shù)”過(guò)程，在一分鐘之內(nèi)，自動(dòng)完成
·zygo全系列白光輪廓儀，都包括自動(dòng)防撞功能，”心細(xì)如發(fā)“，“一觸即止”，能*大程度保護(hù)樣品和設(shè)備的安全。
基于以上zygo共有的功能，每一款白光輪廓儀又有什么自己的特點(diǎn)呢？今日小z就和各位親聊聊：
如何選擇zygo白光輪廓儀
zegage™系列
1.6k*1.2k像素，1x光學(xué)縮放，
surescan™采樣；
可選手動(dòng)調(diào)整，或3軸（z，xy平移）自動(dòng)調(diào)整樣品臺(tái)；
表面形貌重復(fù)性(str);
zegage™pro 3.5nm
zegage™pro hr 0.15nm
zegage™桌面型光學(xué)輪廓儀,結(jié)構(gòu)緊湊，穩(wěn)定可靠。它采用一體化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，配合zygo surescan™抗振采樣模式，可以無(wú)需氣浮抗振臺(tái)，直接置于桌面，在生產(chǎn)環(huán)境中量測(cè)。
·zegage™ 系列有兩種型號(hào)，都具有較高性?xún)r(jià)比。zegage™pro表面形貌重復(fù)性(str)3.5nm，適用于精密機(jī)械，材料學(xué)，摩擦磨損等納米級(jí)測(cè)量；zegage™pro hr表面形貌重復(fù)性(str) 0.15nm，可以量測(cè)亞納米級(jí)超光滑表面。
·zegage™可選增高架構(gòu)，用于測(cè)量更大尺寸的樣品；還可以選用3軸（z，tip/tilt傾斜俯仰）自動(dòng)調(diào)整樣品臺(tái)，具有拼接測(cè)量及一定編程自動(dòng)化測(cè)量的能力。
newview™9000
1.6k*1.2k，0.5x,1x, 2x 目鏡；
csi, surescan™, smartpsi采樣；
可選手動(dòng)調(diào)整，或5軸（z，xy平移，tip/tilt傾斜俯仰）自動(dòng)調(diào)整樣品臺(tái)；
手動(dòng)孔徑光闌，及視場(chǎng)光闌；
newview表面形貌重復(fù)性(str)0.08nm
newview™9000是zygo應(yīng)用*廣的高性能光學(xué)輪廓儀，配合豐富的配置及附件，滿(mǎn)足多樣化應(yīng)用需求。
·newview™9000150um范圍使用壓電陶瓷閉環(huán)掃描，表面形貌重復(fù)性(str) 0.08nm，可以滿(mǎn)足苛刻的超光滑表面測(cè)試需要。
·newview™9000光學(xué)系統(tǒng)包括孔徑光闌，及視場(chǎng)光闌；可優(yōu)化光學(xué)成像質(zhì)量，適用于不同樣品表面紋理和微結(jié)構(gòu)。
·newview™9000采用分立龍門(mén)架構(gòu)，可以通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)墊塊附件，抬高測(cè)試頭，來(lái)測(cè)試超大超高樣品。
·newview™9000可選5維全自動(dòng)樣品臺(tái)，配合zygo腳本編程工具，自主開(kāi)發(fā)工業(yè)自動(dòng)化測(cè)試流程。
nexview™ nx2
1.6k*1.2k，0.5x,1x, 2x目鏡；
csi, surescan™, smartpsi采樣；
標(biāo)配5軸（z，xy平移，tip/tilt傾斜俯仰）自動(dòng)調(diào)整樣品臺(tái)；
全自動(dòng)孔徑光闌，及視場(chǎng)光闌調(diào)整；
nexview™ nx2表面形貌重復(fù)性(str)0.06nm
ture color樣品表面彩色3d形貌測(cè)量
nexview™ nx2是zygo光學(xué)輪廓儀系列中，測(cè)試精度*高，功能*全，整機(jī)*自動(dòng)化的型號(hào)；nx2專(zhuān)為*挑戰(zhàn)應(yīng)用設(shè)計(jì)制造。
·nexview™nx2 150um范圍使用壓電陶瓷閉環(huán)掃面，表面形貌重復(fù)性(str) 0.06nm，是zygo光學(xué)性能，噪聲系數(shù)*優(yōu)的型號(hào)，可以滿(mǎn)足*苛刻的埃級(jí)超光滑表面測(cè)試需要。
·nexview™nx2覆蓋了其它zygo白光輪廓儀的所有功能；此外還turecolor樣品表面彩色3d形貌測(cè)量能力。
·nexview™nx2同樣采用分立龍門(mén)架構(gòu)，可以通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)墊塊附件，抬高測(cè)試頭來(lái)測(cè)試超高樣品。
·nexview™nx2實(shí)現(xiàn)了整機(jī)*自動(dòng)化，從塔臺(tái)，樣品臺(tái)，到光學(xué)系統(tǒng)光闌控制，全部軟件可編程；配合zygo腳本編程工具，nexview™ nx2可以實(shí)現(xiàn)*自動(dòng)化測(cè)試。